低溫等離子凈化器中的介質阻擋放電的過程中，等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、臭氧和激發態分子等，理論上VOCs與這些具有較高能量的活性基團發生反應，部分會被裂解，好終轉化為二氧化碳和水等物質，從而達到凈化廢氣的目的。